[发明专利]利用氟硅酸钠作为原料生产四氟化硅的方法及其生产设备

摘要

本发明涉及一种利用氟硅酸钠作为原料生产四氟化硅的方法及其生产设备，其主要是通过氟硅酸钠与硫酸反应生产氟化氢以及需要制备的四氟化硅，并且将产生的氟化氢气体进行多方面的反复利用、整合，使得氟化氢与二氧化硅反应进一步的反应出四氟化硅；本发明的有益效果：生产成本低、生产效率高、产量高。

主权项

1.一种利用氟硅酸钠作为原料生产四氟化硅的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将硫酸与石英砂混合后加入至打浆槽中并且搅拌使得两者形成浆料；(2)在对浆料的搅拌过程中，持续通过氮气将氟硅酸钠加入至反应釜内；(3)在氟硅酸钠加入完毕后，将打浆槽中混合均匀的部分浆料通过氮气保护的方式加入至反应釜中，并且将反应釜中的温度加热至60℃～100℃使得氟硅酸钠与硫酸进行反应且产出四氟化硅气体与氟化氢气体；(4)在步骤(3)中产出的氟化氢气体会溶解与硫酸并产出氢氟酸溶液，产出的氢氟酸溶液进一步与反应釜中的石英砂反应生成四氟化硅气体；(5)将步骤(3)和步骤(4)中的产出的四氟化硅气体和氟化氢气体通入洗涤塔中洗涤、干燥并收集。