[发明专利]一种高纯钽靶材的车削加工方法在审
| 申请号： | 201810851251.9 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108672720A | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;周建军;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23B1/00 | 分类号： | B23B1/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 肖丽 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种高纯钽靶材的车削加工方法，涉及溅射靶材领域，其采用刀片沿高纯钽靶材的直径方向朝高纯钽靶材的中心进给的加工方式，并对车削速度进行了严格的限定。该车削加工方法的操作简单，对设备要求不高。经过发明人创造性劳动发现，针对钽靶材，当车削速度限定在250～300m/min时，加工后的高纯钽靶材表面质量较好，能够较好避免突起、凹坑等表面缺陷以及车削挤压层的出现。此外，在上述车削速度下，对于刀片的损耗较小，节约刀片的同时，还节约了更换刀片的时间，更加利于降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯钽靶材 刀片 车削 车削加工 加工 表面缺陷 溅射靶材 速度限定 对设备 挤压层 钽靶材 节约 突起 凹坑 进给 劳动 发现 | ||
【主权项】：
1.一种高纯钽靶材的车削加工方法，其特征在于，包括：对所述高纯钽靶材进行车削；车削过程中，刀片沿所述高纯钽靶材的直径方向朝所述高纯钽靶材的中心进给，车削速度为250～300m/min。
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