[发明专利]晶体振荡器的寿命判定方法、膜厚测定装置、成膜方法、成膜装置以及电子器件制造方法有效
| 申请号： | 201810844842.3 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN109596959B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 小林康信 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及晶体振荡器的寿命判定方法、膜厚测定装置、成膜方法、成膜装置以及电子器件制造方法。本发明的一方案的晶体振荡器的寿命判定方法包括：测定晶体振荡器的等效串联电阻值的测定阶段；利用测定出的所述等效串联电阻值和在紧靠此之前的采样周期测定出的等效串联电阻值，对等效串联电阻值的变动值进行计算的计算阶段；将晶体振荡器的等效串联电阻值的所述变动值与规定阈值进行比较的比较阶段；以及基于等效串联电阻值的所述变动值超过所述规定阈值的次数，对所述晶体振荡器的寿命进行判定的判定阶段。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体振荡器 寿命 判定 方法 测定 装置 以及 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种晶体振荡器的寿命判定方法，其中，包括：测定晶体振荡器的等效串联电阻值的测定阶段；利用测定出的所述等效串联电阻值和在紧靠此之前的采样周期测定出的等效串联电阻值，对等效串联电阻值的变动值进行计算的计算阶段；将晶体振荡器的等效串联电阻值的所述变动值与规定阈值进行比较的比较阶段；以及基于等效串联电阻值的所述变动值超过所述规定阈值的次数，对所述晶体振荡器的寿命进行判定的判定阶段。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能特机株式会社，未经佳能特机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810844842.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
