[发明专利]一种真空泄漏判断控制系统在审
| 申请号： | 201810838082.5 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN109269734A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 刘自芳 | 申请（专利权）人： | 合肥瑞智电力电子有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230009 安徽省合肥市蜀*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空泄漏判断控制系统，包括上位机、PLC和真空计，所述上位机与PLC连接，所述上位机与真空计信号连接，所述PLC与四极质谱仪电性连接。本发明的上位机对PLC发出执行命令，PLC控制下层单元，如各真空泵及真空阀的启停操作；上位机对PLC和其它连接设备反馈回的信息及时处理并且实时显示；在检漏判断时，自动绘制出压强－时间的曲线，使操作人员能够很快判断出泄漏原因，用于分析残留气体成分和检漏的四极质谱仪集成在控制系统内，使操作更加灵活方便。 | ||
| 搜索关键词： | 上位机 判断控制系统 四极质谱仪 真空泄漏 真空计 检漏 压强 残留气体 电性连接 控制系统 连接设备 实时显示 下层单元 信号连接 真空泵 真空阀 启停 泄漏 绘制 反馈 灵活 分析 | ||
【主权项】：
1.一种真空泄漏判断控制系统，包括上位机、PLC和真空计，其特征在于，所述上位机与PLC连接，所述上位机与真空计信号连接，所述PLC与四极质谱仪电性连接。
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