[发明专利]一种单晶硅金刚线切割装置有效
| 申请号： | 201810830578.8 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN108789889B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 黄家旺 | 申请（专利权）人： | 浙江红绿蓝纺织印染有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 | 代理人： | 陈彩霞 |
| 地址： | 312030 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶硅切割加工装置领域，特别涉及到一种单晶硅金刚线切割装置，包括：一装置外壳，装置外壳具有：一第一卷线装置和一第二卷线装置，第一卷线装置和第二卷线装置安装在装置外壳内；一切割装置，切割装置安装在第一卷线装置和第二卷线装置的中间，在切割装置上方设置有一挤压装置；一冷却装置，冷却装置安装在切割装置的上方，冷却装置分为左右两个对切割装置进行冷却；一冷却液箱，冷却液箱安装在装置外壳的的下方，本发明结构简单，且能够在单晶硅切割时有效防止金刚线因冷却液存在碳化硅微粉有大颗粒物卡在金刚线与硅片之间产生线痕，造成硅片的损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 金刚 切割 装置 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅金刚线切割装置，包括：一装置外壳，所述装置外壳具有：一第一卷线装置和一第二卷线装置，所述第一卷线装置和所述第二卷线装置安装在所述装置外壳内；一切割装置，所述切割装置安装在所述第一卷线装置和所述第二卷线装置的中间，在所述切割装置上方设置有一挤压装置；一冷却装置，所述冷却装置安装在所述切割装置的上方，所述冷却装置分为左右两个对所述切割装置进行冷却；一冷却液箱，所述冷却液箱安装在所述装置外壳的的下方。
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