[发明专利]用于坐标测量机的光学粗糙度传感器和坐标测量机有效
| 申请号： | 201810825143.4 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109307487B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·延森 | 申请（专利权）人： | 赫克斯冈技术中心 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东 |
| 地址： | 瑞士赫*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于坐标测量机的光学粗糙度传感器(10)，包括：用于耦合输入和解耦光学有效辐射的光束耦合单元(11)，用于通过有效辐射的参考辐射分量提供参考路径和干涉参考信号的本地参考振荡器件，包括第一光束通过窗的第一解耦路径，第一光束通过窗用于有效辐射的测量辐射分量(17)的双向透射，从而该测量辐射分量(17)能被对准至待测目标表面且该测量辐射分量(17)的反射能被获得，关于目标表面的表面信号能由反射的测量辐射分量(17)提供。该参考路径和解耦路径(12)如此布置和相互作用，所述参考信号和表面信号干涉并且能基于所述参考信号额表面信号的干涉得到粗糙度信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 坐标 测量 光学 粗糙 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于坐标测量机(1)的光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)，该光学粗糙度传感器包括：‑用于耦合输入光学有效辐射的光束耦合单元(11)，‑本地参考振荡器件，该本地参考振荡器件设计用于通过所述有效辐射的参考辐射分量提供参考路径和干涉参考信号，‑第一解耦路径(12)，包括设计用于所述有效辐射的测量辐射分量(17)的双向透射的第一光束通过窗，从而使得‑所述测量辐射分量(17)能被对准至待测的目标(9)且所述测量辐射分量(17)的反射能被获得，并且‑关于目标表面的表面信号能由反射的测量辐射分量(17)提供，其中，所述参考路径和所述解耦路径(12)如此布置和相互作用，即所述参考信号和所述表面信号干涉并且能基于所述参考信号和所述表面信号的干涉得到粗糙度信号。
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