[发明专利]用于坐标测量机的光学粗糙度传感器和坐标测量机

权利要求书

1.一种用于坐标测量机(1)的光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)，该光学粗糙度传感器包括：

-用于耦合输入光学有效辐射的光束耦合单元(11)，

-本地参考振荡器件，该本地参考振荡器件设计用于通过所述有效辐射的参考辐射分量提供参考路径和干涉参考信号，

-第一解耦路径(12)，包括设计用于所述有效辐射的测量辐射分量(17)的双向透射的第一光束通过窗，从而使得

-所述测量辐射分量(17)能被对准至待测的目标(9)且所述测量辐射分量(17)的反射能被获得，并且

-关于目标表面的表面信号能由反射的测量辐射分量(17)提供，

其中，所述参考路径和所述第一解耦路径(12)如此布置和相互作用，即所述参考信号和所述表面信号干涉并且能基于所述参考信号和所述表面信号的干涉得到粗糙度信号，

其中，所述光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)具有用于使所述第一解耦路径(12)移动的驱动单元(16)，其中所述驱动单元(16)被联结至所述第一解耦路径(12)，使得所述第一解耦路径(12)能以受控方式平行地或同轴地沿着与所述光束耦合单元(11)相关的扫描轴(S)移动。

2.根据权利要求1所述的光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)，其特征是，所述光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)具有用于提供与所述第一解耦路径(12)的扫描轴位置相关的侧向位置信号的侧向位置路径，其中该侧向位置路径由所述有效辐射的侧向辐射分量的反射来限定。

3.根据权利要求2所述的光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)，其特征是，所述光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)具有第一分光器(13)，其中所述第一分光器(13)提供所述第一解耦路径(12)和所述侧向位置路径的至少部分分离。

4.根据权利要求3所述的光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)，其特征是，所述第一分光器(13)提供所述侧向辐射分量和所述测量辐射分量的分离。

5.根据权利要求3所述的光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)，其特征是，所述光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)具有用于提供所述侧向辐射分量的反射的反射面(14)。

6.根据权利要求5所述的光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)，其特征是，所述反射面(14)是反光镜。

7.根据权利要求5所述的光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)，其特征是，所述反射面(14)布置在所述第一分光器(13)上。

8.根据权利要求5所述的光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)，其特征是，所述参考振荡器件由如下提供：

-所述光束耦合单元(11)的箍圈(11a)的端面(11b)，或者

-布置在所述第一分光器上的所述反射面(14)。

9.根据权利要求1所述的光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)，其特征是，所述光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)具有用于提供至少一个补偿信号的信号补偿机构，其中

-关于所述光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)相对于所述目标表面的测量位置的信息能由第一补偿信号提供，和/或

-关于所述第一解耦路径(12)在粗糙度传感器壳体(18)内的相对定位的补偿信息能由第二补偿信号提供。

10.根据权利要求9所述的光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)，其特征是，关于所述光学粗糙度传感器(10,10’,10”,10’”,40)和所述目标表面之间距离的所述信息能由所述第一补偿信号提供。