[发明专利]以四氟化硅为原料制备超纯石英砂的方法有效
申请号: | 201810819016.3 | 申请日: | 2018-07-24 |
公开(公告)号: | CN108793176B | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 应盛荣;姜战;应悦 | 申请(专利权)人: | 衢州市鼎盛化工科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/18 | 分类号: | C01B33/18 |
代理公司: | 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 31346 | 代理人: | 刘少伟 |
地址: | 324002 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提出了一种以四氟化硅为原料制备超纯石英砂的方法,包括:将矿化剂和超纯水加入反应釜中,通入四氟化硅气体,加热反应;将石英晶核加入所述反应釜中,之后逐步降低反应釜中的温度和压力,石英晶核长大为石英晶体;当石英晶体粒度大于48μm以上时,降低反应釜的压力和温度,卸出物料;固液分离所述物料;烘干固体物,即为超纯石英砂。本发明制得的产品质量高,高纯石英砂可达6N级。 | ||
搜索关键词: | 氟化 原料 制备 石英砂 方法 | ||
【主权项】:
1.一种以四氟化硅为原料制备超纯石英砂的方法,其特征在于,包括:将矿化剂和超纯水加入反应釜中,通入四氟化硅气体,加热反应;将石英晶核加入所述反应釜中,之后逐步降低反应釜中的温度和压力,石英晶核长大为石英晶体;当石英晶体粒度大于48μm以上时,降低反应釜的压力和温度,卸出物料;固液分离所述物料;烘干固体物,即为超纯石英砂。
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