[发明专利]绝缘检查装置和绝缘检查方法有效
申请号: | 201810810143.7 | 申请日: | 2018-07-23 |
公开(公告)号: | CN109307826B | 公开(公告)日: | 2023-01-10 |
发明(设计)人: | 笠井淳 | 申请(专利权)人: | 日本电产理德股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/12 | 分类号: | G01R31/12 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 周爽;金玉兰 |
地址: | 日本京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种绝缘检查装置和绝缘检查方法,绝缘检查装置(1)具备:多个探针,其用于与检查对象的基板中的、多个导体图案接触;电源部,其经由探针向第一图案和第二图案之间输出电压,第一图案为导体图案中的任一个导体图案,第二图案为导体图案中的除第一图案以外的任一个导体图案;放电检测部,其检测在第一图案和第二图案之间产生电火花和局部放电中的至少一方;电源控制部,其在通过放电检测部检测到产生上述电火花和局部放电中的至少一方时,使电源部的电压输出停止或者下降。 | ||
搜索关键词: | 绝缘 检查 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种绝缘检查装置,其特征在于,所述绝缘检查装置具备:多个探针,其用于与形成有多个导体图案的检查对象的基板中的、所述多个导体图案接触;电源部,其经由所述多个探针向第一图案和第二图案之间输出电压,所述第一图案为所述多个导体图案中的任一导体图案,所述第二图案为所述多个导体图案中的除所述第一图案以外的任一导体图案;放电检测部,其检测在所述第一图案和所述第二图案之间产生电火花和局部放电中的至少一方;以及电源控制部,其在通过所述放电检测部检测到产生所述电火花和局部放电中的至少一方时,使所述电源部的电压输出停止或者下降。
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