[发明专利]绝缘检查装置和绝缘检查方法

说明书

本发明提供一种绝缘检查装置和绝缘检查方法，绝缘检查装置(1)具备：多个探针，其用于与检查对象的基板中的、多个导体图案接触；电源部，其经由探针向第一图案和第二图案之间输出电压，第一图案为导体图案中的任一个导体图案，第二图案为导体图案中的除第一图案以外的任一个导体图案；放电检测部，其检测在第一图案和第二图案之间产生电火花和局部放电中的至少一方；电源控制部，其在通过放电检测部检测到产生上述电火花和局部放电中的至少一方时，使电源部的电压输出停止或者下降。

技术领域

本发明涉及对形成有多个导体图案的基板进行绝缘检查的绝缘检查装置和绝缘检查方法。

背景技术

一直以来，已知有从电源部向一对导体图案间供给直流电压，并且根据导体图案间得到的电压值和电流值算出绝缘电阻值，在算出电阻值结束的时控制电源部并使施加电压值下降的技术。日本公开公报特开2015-10880号公报中记载了如下技术方案，在从由电源部进行的直流电压的输出刚刚开始起到基于电阻值的绝缘状态的判别结束为止的期间，在从放电检测部输出检测信号时，检测出在一对导体图案间产生电火花的情况。

但是，若在导体图案间产生电火花，则存在导体图案间的基板发生碳化、污损而使导体图案间的电阻值下降的情况。另外，存在由于火花放电使导体图案发生缺损的情况。并且，若导体图案发生缺损，则在该缺损部分的边缘更加容易发生火花放电，由于导体图案间的电阻值下降可能会更容易产生电火花。

这样，若电火花等的放电长时间持续或反复进行电火花等的放电，则存在基板的损伤扩大这样的不良情况。

发明内容

本发明的目的在于，提供能够降低因放电引起的基板的损伤扩大的可能的绝缘检查装置和绝缘检查方法。

本发明的示例的实施方式的绝缘检查装置具备：多个探针，其用于与形成有多个导体图案的检查对象的基板中的、所述多个导体图案接触；电源部，其经由所述多个探针向第一图案和第二图案之间输出电压，所述第一图案为所述多个导体图案中的任一导体图案，所述第二图案为所述多个导体图案中的除所述第一图案以外的任一导体图案；放电检测部，其检测在所述第一图案和所述第二图案之间产生电火花和局部放电中的至少一方；以及电源控制部，其在通过所述放电检测部检测到产生上述电火花和局部放电中的至少一方时，使所述电源部的电压输出停止或者下降。

另外，本发明的示例的实施方式的绝缘检查方法包括：向第一图案和第二图案之间输出电压的电源输出工序，所述第一图案是形成有多个导体图案的检查对象的基板中的、所述多个导体图案中的任一导体图案，所述第二图案是所述多个导体图案中的除所述第一图案以外的任一导体图案；检测在所述第一图案和所述第二图案之间产生电火花和局部放电中的至少一方的放电检测步骤；当检测到产生电火花和局部放电中的至少一方时，使在所述电源输出工序中进行的电压输出停止或下降的电源控制步骤。

根据这些结构，检测在第一图案和第二图案之间产生电火花和局部放电中的至少一方，若在成为绝缘检查的对象的第一图案和第二图案之间产生上述电火花和局部放电中的至少一方，则检测到产生上述电火花和局部放电中的至少一方，为了绝缘检查而使向第一图案和第二图案之间输出的电压输出停止或下降。其结果是，能够降低电火花等的放电长时间持续，或反复进行放电的可能，降低因放电导致的基板的损伤扩大的可能。

这样构成的绝缘检查装置和绝缘检查方法能够降低因放电引起的基板的损伤扩大的可能。

有以下的本发明优选实施方式的详细说明，参照附图，可以更清楚地理解本发明的上述及其他特征、要素、步骤、特点和优点。

附图说明

图1是使用本发明的一个实施方式的绝缘检查方法的绝缘检查装置的概要结构图。

图2是表示图1所示的放电检测部的构成的一例的框图。

图3是表示图1所示的绝缘检查装置的动作的一例的流程图。