[发明专利]一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置

摘要

本发明公开了一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括增压气泵、前端水洗室、废水净水箱和增压水泵，增压气泵的进气端和外接设备的废气源连接，所述增压气泵的出气端和前端水洗室连接，前端水洗室包括前端水洗腔、进气法兰、出气法兰、喷水法兰和排水法兰，废气通过增压气泵进入前端水洗室后，废气中的酸性气体和粉尘颗粒和水结合并通过活性炭吸附集中在水体下方并顺着水流冲洗到废水净水箱中，再通过废水净水箱的过滤净化循环利用，而活性炭继续留在前端水洗腔的内部，剩下的废气则进入后面的处理设备，整个装置结构简单，实用性强。

主权项

1.一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，其特征在于：包括增压气泵(2)、前端水洗室、废水净水箱和增压水泵(23)，所述增压气泵(2)的进气端和外接设备的废气源(1)连接，所述增压气泵(2)的出气端和前端水洗室连接，所述前端水洗室包括前端水洗腔(3)和进气法兰(4)，所述进气法兰(4)贯穿前端水洗腔(3)的顶部左侧并和前端水洗腔(3)焊接在一起，所述进气法兰(4)的下端连接有出气罩(5)，所述出气罩(5)上均布设有出气孔并浸没于前端水洗腔(3)内的水下，所述前端水洗腔(3)的顶部右侧焊接有出气法兰(6)，所述前端水洗腔(3)的右端焊接有喷水法兰(7)，所述喷水法兰(7)内设有喷头(8)并位于出气法兰(6)的正下方，所述前端水洗腔(3)的底部焊接有排水法兰(13)；所述废水净水箱包括箱体(18)和进水法兰(19)，所述进水法兰(19)焊接在箱体(18)的顶部左边，所述进水法兰(19)通过连接管道一(17)和排水法兰(13)相连，所述箱体(18)的内部中间设有过滤板(22)并通过固定架二(21)竖直固定在箱体(18)的内部，所述箱体(18)的右侧下部设有出水法兰(20)。