[发明专利]用于声谐振器结构的经锚定聚合物封装有效
| 申请号： | 201810789071.2 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN109586680B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 维克拉姆·帕蒂尔 | 申请（专利权）人： | 安华高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/10 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用於声谐振器结构的经锚定聚合物封装。一种设备包括具有上表面的装置衬底。在所述装置衬底中存在锚定开口。所述设备还包括安置于框架层的上表面上方的盖层。所述盖层及所述框架层各自包括光可界定聚合物材料。所述设备还包括在所述框架层中的隔室。所述盖层为所述隔室提供封盖，且所述框架层的一部分安置于所述锚定开口中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 谐振器 结构 锚定 聚合物 封装 | ||
【主权项】：
1.一种设备，其包括：装置衬底，其具有上表面，其中在所述装置衬底中存在锚定开口；框架层，其具有上表面；盖层，其安置于所述框架层的所述上表面上方，其中所述盖层及所述框架层各自包括光可界定聚合物材料；及隔室，其在所述框架层中，其中所述盖层为所述隔室提供封盖，且所述框架层的一部分安置于所述锚定开口中。
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