[发明专利]用于声谐振器结构的经锚定聚合物封装

权利要求书

1.一种设备，其包括：

装置衬底，其具有上表面，其中在所述装置衬底中存在锚定开口；

框架层，其具有上表面；

盖层，其安置于所述框架层的所述上表面上方，其中所述盖层及所述框架层各自包括光可界定聚合物材料；

隔室，其在所述框架层中，其中所述盖层为所述隔室提供封盖，且所述框架层的一部分安置于所述锚定开口中；及

声波谐振器。

2.根据权利要求1所述的设备，其中在所述装置衬底中在所述隔室下方存在空气腔，且所述声波谐振器包括安置于所述装置衬底的所述上表面上方且在所述隔室中的薄膜体声波谐振器FBAR，且所述薄膜体声波谐振器在所述空气腔上方延伸。

3.根据权利要求2所述的设备，其中在所述空气腔的一部分上方存在释放开口。

4.根据权利要求3所述的设备，其中所述框架层的一部分安置于所述释放开口中。

5.根据权利要求2所述的设备，其中释放开口存在于安置于所述装置衬底的所述上表面上方的层中，且所述FBAR的压电层的第一部分悬于所述空气腔的边缘之上。

6.根据权利要求5所述的设备，其中与所述层的所述第一部分相对的所述层的第二部分悬于所述空气腔之上，且其中所述第一部分提供所述释放开口。

7.根据权利要求5所述的设备，其中所述框架层的一部分安置于所述释放开口中。

8.根据权利要求6所述的设备，其中所述框架层的一部分安置于所述释放开口中。

9.根据权利要求5所述的设备，其中所述层为压电层，且所述压电层的第三部分为所述FBAR的有源区的组件。

10.根据权利要求1所述的设备，其中压电层安置于所述装置衬底的所述上表面上方，且所述压电层的第一部分悬于所述锚定开口的边缘之上。

11.根据权利要求10所述的设备，其中与所述压电层的所述第一部分相对的所述压电层的第二部分悬于所述锚定开口之上。

12.一种电滤波器，其包括：

装置衬底，其具有上表面，其中在所述装置衬底中存在锚定开口；

框架层，其具有上表面；

盖层，其安置于所述框架层的所述上表面上方，其中所述盖层及所述框架层各自包括光可界定聚合物材料；

隔室，其在所述框架层中，其中所述盖层为所述隔室提供封盖，且所述框架层的一部分安置于所述锚定开口中；及

声谐振器，其安置于所述框架层中的所述隔室中，且在所述装置衬底的所述上表面上方。

13.根据权利要求12所述的电滤波器，其中在空气腔的一部分上方存在释放开口。

14.根据权利要求13所述的电滤波器，其中所述框架层的一部分安置于所述释放开口中。

15.根据权利要求14所述的电滤波器，其中所述释放开口存在于安置于所述装置衬底的所述上表面上方的层中，且压电层的第一部分悬于所述空气腔的边缘之上。

16.根据权利要求15所述的电滤波器，其中与所述压电层的所述第一部分相对的所述压电层的第二部分悬于所述空气腔之上，且其中所述第一部分提供所述释放开口。

17.根据权利要求15所述的电滤波器，其中所述框架层的一部分安置于所述释放开口中。

18.根据权利要求17所述的电滤波器，其中所述框架层的一部分安置于所述释放开口中。