[发明专利]一种基于PVD沉积方法的氮化铝陶瓷板和金属的连接方法有效
| 申请号： | 201810785085.7 | 申请日： | 2018-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN109136848B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 宋忠孝;张宏凯;李雁淮;李响 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/18;C23C14/35;C04B37/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于PVD沉积方法的氮化铝陶瓷板和金属的连接方法，所述的方法是：首先在氮化铝陶瓷板表面通过PVD沉积方法形成一层钛膜，然后再沉积一定厚度的银锡层，接着用夹持模具将氮化铝陶瓷板镀膜面和镀有铜膜的金属板(块)贴合并施加一定的压力，最后放入真空退火炉中加热并保温，即可实现氮化铝陶瓷板和金属的高强度连接。本发明在获得氮化铝陶瓷板与金属高焊接强度的同时，简化了传统陶瓷金属连接方法工艺，避免了直接覆铜法中靠氧化物结合而导致的结合面气密性的问题，而且还提高了基板的导热和散热性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 pvd 沉积 方法 氮化 陶瓷 金属 连接 | ||
【主权项】：
1.一种基于PVD沉积方法的氮化铝陶瓷板和金属的连接方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，对待使用的氮化铝陶瓷基板进行清洗；步骤2，在氮化铝陶瓷板上利用磁控溅射沉积一层钛过渡层；步骤3，在镀好的钛过渡层上再沉积4～6μm银锡焊料层；步骤4，镀有钛过渡层和银锡焊料层的一侧与镀有铜膜的金属贴合，在真空退火炉中加热并保温，完成氮化铝陶瓷板和金属的连接。
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