[发明专利]一种磁性材料真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201810778022.9 | 申请日： | 2018-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN108823537B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 杨亦云 | 申请（专利权）人： | 安康学院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 | 代理人： | 俞晓明 |
| 地址： | 725000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁性材料真空镀膜设备，其真空室内位于镀膜材料蒸发装置上方设有磁性材料装载架，磁性材料装载架的左端与第一轴体转动连接；第一轴体的右端轴连接第一齿轮，第一轴体的左端固定于真空室左侧壁上；磁性材料装载架的右端与第二轴体左端相固定，第二轴体通过第二轴承与真空室侧壁转动连接，第二轴体与第一电机的输出轴轴连接；磁性材料装载架内还设有多个夹持转动机构，各夹持转动机构均包括一与第一齿轮相啮合的第二齿轮，通过第一、第二齿轮之间的动力传递，实现各夹持转动机构带动其所夹持的磁性材料体转动。本发明在镀膜过程中能够实现整体磁性材料转动，还能够实现每个磁性材料体单独转动，从而能够对多个磁性材料体均匀镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁性材料 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种磁性材料真空镀膜设备，包括真空室(1)，真空室(1)与抽真空装置连接，真空室(1)内部的下端设置镀膜材料蒸发装置，其特征在于，所述真空室(1)内部位于所述镀膜材料蒸发装置上方设有磁性材料装载架(2)，磁性材料装载架(2)的左端被第一轴体(11)穿入，其中第一轴体(11)固定套接于第一轴承(13)的内圈中，第一轴承(13)的外圈与磁性材料装载架(2)相固定；所述第一轴体(11)的右端轴连接有第一齿轮(10)，第一轴体(11)的左端固定于真空室(1)的左侧壁上；所述磁性材料装载架(2)的右端与第二轴体(12)的左端相固定，第二轴体(12)固定套接于第二轴承(14)的内圈中，第二轴承(14)的外圈与真空室(1)侧壁相固定，第二轴体(12)的右端与第一电机(15)的输出轴轴连接，第一电机(15)固定于真空室(1)的侧壁上；所述磁性材料装载架(2)的内部还设有多个用于分别夹持住不同的磁性材料体(17)并使被夹持住的各个磁性材料体(17)在镀膜的过程中进行转动的夹持转动机构，各夹持转动机构均包括一与所述第一齿轮(10)相啮合的第二齿轮(5)，通过第一齿轮(10)和第二齿轮(5)之间的动力传递，使得各夹持转动机构能够带动其所夹持的磁性材料体(17)转动。
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