[发明专利]用于测量薄膜材料相变温度的装置及方法有效
| 申请号： | 201810767504.4 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109030414B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 缪向水;陈子琪;童浩;王愿兵;蔡颖锐 | 申请（专利权）人： | 武汉嘉仪通科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 许美红;王杰 |
| 地址： | 430075 湖北省武汉市东湖新*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量薄膜材料相变温度的装置，包括衬底、电极、红外温度探测器、激光光源、多普勒探测器、飞秒脉冲激光光源；衬底用于铺设待测薄膜，电极置于待测薄膜上，红外温度探测器监测待测薄膜的温度；激光光源向待测薄膜表面斜射探测光，飞秒脉冲激光光源向同一入射点垂直射入飞秒激光脉冲，从而在薄膜内产生声波，使探测光在待测薄膜表面的反射光引起多普勒频移，多普勒探测器用于探测该反射光的多普勒频移信号。本发明测量装置及方法利用飞秒激光诱导薄膜产生声波，利用薄膜晶态和非晶态之间折射率的差异，反应声波在一定厚度薄膜内传播一个来回的时间差异，通过多普勒探测器探测反射光的多普勒频移信号，具有快速、无损测量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 薄膜 材料 相变 温度 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量薄膜材料相变温度的装置，其特征在于，包括衬底、电极、红外温度探测器、激光光源、多普勒探测器、飞秒脉冲激光光源；所述衬底用于铺设待测薄膜，所述电极置于待测薄膜上，用于加热待测薄膜，红外温度探测器用于监测待测薄膜的温度；所述激光光源和多普勒探测器对称安装于待测薄膜的上方，所述激光光源向待测薄膜表面斜射探测光，所述飞秒脉冲激光光源向同一入射点垂直射入飞秒激光脉冲，从而在薄膜内产生声波，使探测光在待测薄膜表面的反射光引起多普勒频移，所述多普勒探测器用于探测该反射光的多普勒频移信号。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉嘉仪通科技有限公司，未经武汉嘉仪通科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810767504.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
