[发明专利]具有磁场屏蔽结构的磁场传感器及结合磁场传感器的系统有效
| 申请号： | 201810760725.9 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN109254252B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 斯特凡·马劳斯卡;约尔格·科克;马克·艾斯勒;哈特穆特·马茨;丹尼斯·赫尔姆博尔特 | 申请（专利权）人： | 恩智浦有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 纪雯 |
| 地址： | 荷兰埃因霍温高科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种系统包括至少一个磁场传感器，所述至少一个磁场传感器具有在基板上形成的磁感测元件。所述感测元件感测沿着朝向平行于所述基板的表面的第一方向的感测轴的磁场。屏蔽结构在所述基板上形成。所述屏蔽结构具有第一和第二屏蔽部分，并且所述磁感测元件被安置在所述屏蔽部分之间。所述屏蔽部分中的每一个屏蔽部分包括主体以及从所述主体的相对端延伸的第一和第二边沿段。所述主体平行于第二方向对准，所述第二方向垂直于所述第一方向并且平行于所述基板的所述表面。所述边沿段基本上平行于所述第一方向对准。所述屏蔽部分被布置成镜像对称，其中，所述屏蔽部分中的每一个屏蔽部分的所述边沿段朝彼此延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 磁场 屏蔽 结构 传感器 结合 系统 | ||
【主权项】：
1.一种磁场传感器，其特征在于，包括：在基板上形成的磁感测元件，所述磁感测元件被配置成感测沿着朝向第一方向的感测轴的测量磁场，所述第一方向近似平行于所述基板的表面；以及在所述基板上形成的屏蔽结构，所述屏蔽结构具有第一和第二屏蔽部分，所述磁感测元件被安置在所述第一与第二屏蔽部分之间，其中，所述第一和第二屏蔽部分中的每一个屏蔽部分包括主体以及从所述主体的相对端延伸的第一和第二边沿段，所述主体基本上平行于第二方向对准，所述第二方向垂直于所述第一方向并且近似平行于所述基板的所述表面，并且所述第一和第二边沿段基本上平行于所述第一方向对准，所述第一和第二屏蔽部分被布置成镜像对称，其中，所述第一和第二屏蔽部分中的每一个屏蔽部分的所述第一和第二边沿段朝彼此延伸。
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