[发明专利]用于闸入基板的处理装置和方法有效
申请号: | 201810751402.3 | 申请日: | 2018-07-10 |
公开(公告)号: | CN109234709B | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 迈克·菲卢夫;约尔格·法贝尔 | 申请(专利权)人: | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/54 | 分类号: | C23C16/54;C23C14/56 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 王小衡;王朝辉 |
地址: | 德国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 根据不同的实施形式,处理装置(100)可以具有如下:成形设备(102),其具有成形区域(112),用于在断续的成形过程中成形带式基板(120);涂层设备(106),其具有涂层区域(116),用于在连续的涂层过程中对所述带式基板(120)涂层;缓冲设备(104),具有缓冲区域(114),用于容纳所述带式基板(120)的部段(122);带运输设备(108),用于断续地运输所述带式基板(120)穿过所述成形区域(112)进入所述缓冲区域(114)并且用于连续地运输带式基板(120)离开所述缓冲区域(114)进入所述涂层区域(116);其中所述成形设备(102)构建为,在所述带式基板(120)中产生预定义的期望弯折部位(120k)并且其中所述缓冲设备(104)和带运输设备(108)构建为使得所述带式基板(120)在所述缓冲区域(114)中分别在预定义的所述期望弯折部位(120k)处被弯折。 | ||
搜索关键词: | 用于 闸入基板 处理 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的