[发明专利]一种新型电荷传输层材料的制备方法在审
申请号: | 201810750263.2 | 申请日: | 2018-07-10 |
公开(公告)号: | CN109065737A | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 杨君友;李鑫;李水萍;姜庆辉;赖晖;辛集武 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;H01L51/42;H01G9/20 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 许恒恒;李智 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: |
本发明属于太阳能电池领域,具体公开了一种新型电荷传输层材料的制备方法,具体是将洁净干燥的衬底进行紫外臭氧处理,然后以其为基片、以ZnSe纳米颗粒粉末为源材料,利用真空镀膜机,设置参数使材料密度为5.26,Z因子为0.72,然后在真空度小于等于1×10‑4Pa的真空环境下进行蒸镀,蒸镀速率为0.5‑1.0 |
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搜索关键词: | 电荷传输层 蒸镀 衬底 制备 薄膜 太阳能电池领域 太阳能电池器件 致密 光电转化效率 纳米颗粒粉末 真空蒸镀法制 电子传输层 真空镀膜机 太阳能电池 纳米颗粒 设置参数 真空环境 紫外臭氧 钙钛矿 源材料 均一 沉积 光照 洁净 应用 改进 保证 | ||
【主权项】:
1.一种新型电荷传输层材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将洁净干燥的衬底进行紫外臭氧处理,得到紫外臭氧处理后的衬底;(2)以ZnSe纳米颗粒粉末为源材料,以所述步骤(1)得到的所述紫外臭氧处理后的衬底为基片,利用真空镀膜机,设置参数使材料密度为5.26g/cm3,Z因子为0.72,然后在真空度小于等于1×10‑4Pa的真空环境下进行蒸镀,蒸镀速率为
从而在FTO上沉积得到ZnSe电荷传输层材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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