[发明专利]一种新型电荷传输层材料的制备方法在审

专利信息
申请号: 201810750263.2 申请日: 2018-07-10
公开(公告)号: CN109065737A 公开(公告)日: 2018-12-21
发明(设计)人: 杨君友;李鑫;李水萍;姜庆辉;赖晖;辛集武 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: H01L51/48 分类号: H01L51/48;H01L51/42;H01G9/20
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 许恒恒;李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明属于太阳能电池领域,具体公开了一种新型电荷传输层材料的制备方法,具体是将洁净干燥的衬底进行紫外臭氧处理,然后以其为基片、以ZnSe纳米颗粒粉末为源材料,利用真空镀膜机,设置参数使材料密度为5.26,Z因子为0.72,然后在真空度小于等于1×10‑4Pa的真空环境下进行蒸镀,蒸镀速率为0.5‑1.0从而在衬底上沉积得到ZnSe电荷传输层材料。本发明通过对蒸镀工艺所采用的参数、条件进行改进,首次采用真空蒸镀法制备出大小纳米颗粒均一、致密的ZnSe薄膜;制得的ZnSe薄膜尤其可作为新型的电子传输层应用于诸如钙钛矿太阳能电池器件中,可在保证高光电转化效率的同时,大幅度提高了太阳能电池光照下的稳定性。
搜索关键词: 电荷传输层 蒸镀 衬底 制备 薄膜 太阳能电池领域 太阳能电池器件 致密 光电转化效率 纳米颗粒粉末 真空蒸镀法制 电子传输层 真空镀膜机 太阳能电池 纳米颗粒 设置参数 真空环境 紫外臭氧 钙钛矿 源材料 均一 沉积 光照 洁净 应用 改进 保证
【主权项】:
1.一种新型电荷传输层材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将洁净干燥的衬底进行紫外臭氧处理,得到紫外臭氧处理后的衬底;(2)以ZnSe纳米颗粒粉末为源材料,以所述步骤(1)得到的所述紫外臭氧处理后的衬底为基片,利用真空镀膜机,设置参数使材料密度为5.26g/cm3,Z因子为0.72,然后在真空度小于等于1×10‑4Pa的真空环境下进行蒸镀,蒸镀速率为从而在FTO上沉积得到ZnSe电荷传输层材料。
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