[发明专利]气体传输系统与方法在审
| 申请号： | 201810701035.6 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110657346A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 涂宏彬 | 申请（专利权）人： | 涂宏彬 |
| 主分类号： | F17C13/00 | 分类号： | F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;F17D1/02;F17D1/075;F17D3/01;F17D3/18 |
| 代理公司： | 11228 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程殿军 |
| 地址： | 中国台湾台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体传输系统与方法。该系统主要包含：一气瓶；一电子式质量流量控制器，连接该气瓶，用以控制该气瓶内的一气体输出量；一电子式质量流量计，经由一管路连接该电子式质量流量控制器，用以侦测该气体传输系统最终出口的一气体使用量；一控制器，电性连接该电子式质量流量控制器与该电子式质量流量计，用以调整该电子式质量流量控制器的该气体输出量。本发明的气体传输系统与方法可以有效提升气瓶中低挥发蒸气压制程气体的输出量。 | ||
| 搜索关键词： | 电子式 质量流量控制器 气体传输系统 输出量 气瓶 质量流量计 气体使用量 电性连接 管路连接 控制器 低挥发 侦测 压制 出口 | ||
【主权项】：
1.一种气体传输系统，其特征在于：/n一气瓶；/n一电子式质量流量控制器，连接该气瓶，用以控制该气瓶内的一气体输出量；/n一电子式质量流量计，经由一管路连接该电子式质量流量控制器，用以侦测该气体传输系统最终出口的一气体使用量；/n一控制器，电性连接该电子式质量流量控制器与该电子式质量流量计，用以调整该电子式质量流量控制器的该气体输出量。/n
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