[发明专利]一种二硒化铌薄膜的制备方法在审
申请号: | 201810697016.0 | 申请日: | 2018-06-29 |
公开(公告)号: | CN109137030A | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 杨海峰;启迪;周毅平;付文文;李盈盈;胡晓柯;张伟英;赵建果;范一丹 | 申请(专利权)人: | 洛阳师范学院 |
主分类号: | C25D9/08 | 分类号: | C25D9/08 |
代理公司: | 杭州千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人: | 单燕君 |
地址: | 471022 *** | 国省代码: | 河南;41 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及薄膜制备技术领域,具体涉及一种二硒化铌薄膜的制备方法,该方法采用电化学法在ITO基片上沉积而成;施加电压为30‑80V。本发明采用电沉积一步法制备出具有一定晶形和取向的二硒化铌薄膜,且方法工艺简单、成本低廉、反应条件温和以及制备效率高等优点。 | ||
搜索关键词: | 二硒化铌 制备 薄膜 薄膜制备技术 一步法制备 电化学法 反应条件 施加电压 电沉积 晶形 取向 沉积 | ||
【主权项】:
1.一种二硒化铌薄膜的制备方法,其特征在于,采用电化学法在ITO基片上沉积而成;施加电压为30‑80V。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于洛阳师范学院,未经洛阳师范学院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810697016.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:用于半导体电镀装置的唇状密封件和触头元件
- 下一篇:一种金属基陶瓷复合材料