[发明专利]石英玻璃的热处理方法在审
申请号: | 201810691849.6 | 申请日: | 2018-06-28 |
公开(公告)号: | CN110655305A | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 范艳层;钱宜刚;沈一春;陈峰;许维维;丁杰 | 申请(专利权)人: | 中天科技集团有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C03B25/00 |
代理公司: | 44334 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 | 代理人: | 苏广秀;徐丽 |
地址: | 226010 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种石英玻璃的热处理方法,采用玻璃化成型和热处理一体式工艺,包括步骤:(1)玻璃化二氧化硅原料得到透明的石英玻璃;(2)将玻璃化的高温透明石英玻璃直接降温至热处理温度进行保温;(3)将保温后的石英玻璃通过一定的退火速率降温至室温,得到低应力双折射的透明石英玻璃。本发明玻璃化成型和热处理在同一烧结炉内进行,玻璃化成型后温度直接降至热处理温度并进行保温,该热处理方法不仅有效缩短热处理保温时间,降低污染风险,提高生产效率,且制备出的石英玻璃应力双折射小于1.8nm/cm。 | ||
搜索关键词: | 热处理 玻璃化 石英玻璃 保温 成型 透明石英玻璃 二氧化硅原料 退火 应力双折射 降低污染 生产效率 低应力 烧结炉 双折射 透明的 制备 | ||
【主权项】:
1.一种石英玻璃的热处理方法,其特征在于,采用玻璃化成型和热处理一体式工艺,包括以下步骤:/n(1)加热二氧化硅原料至1500℃~1700℃,玻璃化得到透明的石英玻璃;/n(2)将玻璃化成型后的透明石英玻璃从1500℃~1700℃的玻璃化温度在2h~3h内降温至1050℃~1200℃的热处理温度并保温2h~15h;/n(3)退火处理,将保温后的石英玻璃退火降温至室温,得到应力双折射不超过1.8nm/cm的透明石英玻璃。/n
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