[发明专利]石英玻璃的热处理方法在审
| 申请号： | 201810691849.6 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110655305A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 范艳层;钱宜刚;沈一春;陈峰;许维维;丁杰 | 申请（专利权）人： | 中天科技集团有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B25/00 |
| 代理公司： | 44334 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苏广秀;徐丽 |
| 地址： | 226010 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热处理 玻璃化 石英玻璃 保温 成型 透明石英玻璃 二氧化硅原料 退火 应力双折射 降低污染 生产效率 低应力 烧结炉 双折射 透明的 制备 | ||
1.一种石英玻璃的热处理方法，其特征在于，采用玻璃化成型和热处理一体式工艺，包括以下步骤：
(1)加热二氧化硅原料至1500℃～1700℃，玻璃化得到透明的石英玻璃；
(2)将玻璃化成型后的透明石英玻璃从1500℃～1700℃的玻璃化温度在2h～3h内降温至1050℃～1200℃的热处理温度并保温2h～15h；
(3)退火处理，将保温后的石英玻璃退火降温至室温，得到应力双折射不超过1.8nm/cm的透明石英玻璃。
2.如权利要求1所述的石英玻璃的热处理方法，其特征在于，步骤(1)、步骤(2)以及步骤(3)在同一烧结炉内进行。
3.如权利要求1所述的石英玻璃的热处理方法，其特征在于，所述二氧化硅原料包括二氧化硅粉末体、石英砂中的至少一种。
4.如权利要求1所述的石英玻璃的热处理方法，其特征在于，在步骤(2)中，从1500℃～1700℃的玻璃化温度降温至热处理温度包括第一降温速率和第二降温速率，所述第一降温速率用于将温度从1500℃～1700℃的玻璃化温度降温至1300℃～1350℃；所述第二降温速率用于将温度从1300℃～1350℃降温至热处理温度。
5.如权利要求4所述的石英玻璃的热处理方法，其特征在于，所述第一降温速率在-300℃/h～-400℃/h之间，所述第二降温速率在-50℃/h～-200℃/h之间。
6.如权利要求1所述的石英玻璃的热处理方法，其特征在于，在步骤(3)中，退火处理包括第一退火速率和第二退火速率；所述第一退火速率用于将温度从热处理温度降温至第一退火温度；所述第二退火速率用于将温度从第一退火温度降温至室温。
7.如权利要求6所述的石英玻璃的热处理方法，其特征在于，所述第一退火速率在-2℃/h～-20℃/h之间，所述第一退火温度在900℃～950℃之间，所述第二退火速率在-100℃/h～-220℃/h之间。
8.如权利要求1所述的石英玻璃的热处理方法，其特征在于，退火处理后，得到的透明石英玻璃应力双折射不超过1nm/cm。
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