[发明专利]一种连续碳化硅薄膜热导率的测量装置及其测量方法

摘要

一种连续碳化硅薄膜热导率的测量装置及其测量方法，涉及碳化硅薄膜热导率的测量。测量装置设有热源装置、电子式万能拉力试验机、温度测量装置和计算机。所述热源装置由信号源和高热导螺旋电阻丝组成。所述电子式万能拉力试验机带有样品夹持装置并可通过计算机的程序控制样品夹持装置的移动距离。所述温度测量装置设有非接触式红外测温仪探头和锁相放大器。所述计算机可控制电子式万能拉力试验机夹具的移动距离并能够处理锁相放大器采集到的信号，进行相应的数据分析。所述测量方法利用能够探测样品上各点热量信号与热源信号的相位差值，通过图像拟合和公式推导可计算得出薄膜材料热导率。

主权项

1.一种连续碳化硅薄膜热导率的测量装置，其特征在于设有热源装置、电子式万能拉力试验机、温度测量装置和计算机；所述热源装置由信号源和高热导螺旋电阻丝组成，所述信号源与高热导螺旋电阻丝相连，所述高热导螺旋电阻丝与连续碳化硅薄膜样品直接接触，信号源发出的正弦波交流电信号经高热导螺旋电阻丝对连续碳化硅薄膜样品进行加热，并使热量在薄膜的二维方向上传导；所述电子式万能拉力试验机带有样品夹持装置并通过计算机的程序控制样品夹持装置的移动距离；所述温度测量装置设有非接触式红外测温仪探头和锁相放大器；所述非接触式红外测温仪探头固定于电子式万能拉力试验机夹具上并随夹具移动逐点测量样品温度信号；所述锁相放大器用于采集双通道高信噪比的周期波形信号并能够对周期波形信号进行处理后输出；所述计算机控制电子式万能拉力试验机夹具的移动距离并能够处理锁相放大器采集到的信号，进行相应的数据分析。