[发明专利]一种气压调节装置、气压调节方法及晶圆刻蚀设备有效
| 申请号： | 201810672246.1 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN108847382B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 袁鹏华 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气压调节装置，所述气压调节装置包括：承载结构、压力片、通气管、排气管、气缸、活塞及阀门；压力片与承载结构形成一中空结构，所述承载结构上安装所述通气管和所述排气管，所述通气管和所述排气管与所述中空结构相通，所述气缸安装在所述排气管上并与所述排气管相通，所述活塞设置在所述气缸内以控制所述气缸中的气压；所述阀门设置于通气管和排气管上。所述压力片与所述承载结构形成中空结构，使所述承载结构与所述压力片边缘密封接触；所述通气管和所述排气管使所述中空结构中气流通畅；所述活塞设置在所述气缸内，移动所述活塞调节气缸体积以调节所述中空结构中的气压，从而调节气压所产生的压力，使所述压力片气压平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气压 调节 装置 方法 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
1.一种气压调节装置，其特征在于，所述气压调节装置包括：承载结构、压力片、通气管、排气管、气缸、活塞及阀门；所述压力片与所述承载结构形成一中空结构，所述承载结构上安装所述通气管和所述排气管，所述通气管和所述排气管与所述中空结构相通，所述气缸安装在所述排气管上并与所述排气管相通，所述活塞设置在所述气缸内以控制所述气缸中的气压；所述阀门设置于通气管和排气管上。
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