[发明专利]一种提高太阳能电池EL不良分类效率的分选方法有效
申请号: | 201810672032.4 | 申请日: | 2018-06-26 |
公开(公告)号: | CN108831851B | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 姜博;张家峰;侯锟;李磊 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(成都)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 徐金琼 |
地址: | 610299 四川省成都市双流*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种提高太阳能电池EL不良分类效率的分选方法,涉及太阳能电池EL不良检测分类领域;其包括如下步骤:步骤1:对硅片各工序进行测绘获得特征库文件;步骤2:将EL测试图片预处理后获得待测图片库文件;步骤3:将待测图片库文件与特征库文件进行比较、筛选和计算获得分类数据;步骤4:将分类数据与已知的产量数据进行计算获得分类比例;本发明解决现有流水线分选因无统一判断标准、人为误判等因素导致分选正确率低的问题,达到了统一判断标准,实现定性、定量分析,提高判断结果的准确性以及效率的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 太阳能电池 el 不良 分类 效率 分选 方法 | ||
【主权项】:
1.一种提高太阳能电池EL不良分类效率的分选方法,其特征在于:包括如下步骤:步骤1:对硅片各工序进行测绘获得特征库文件;步骤2:将EL测试图片预处理后获得待测图片库文件;步骤3:将待测图片库文件与特征库文件进行比较、筛选和计算获得分类数据;步骤4:将分类数据与已知的产量数据进行计算获得分类比例。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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