[发明专利]具有凸面的体声波谐振器及其形成方法有效
| 申请号： | 201810661942.2 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN109217839B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 严廷达 | 申请（专利权）人： | 德州仪器公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具有凸面的体声波谐振器及其形成方法。实例BAW谐振器(102)包含：第一电极(112)；压电层(110)，其形成于所述第一电极(112)上，所述压电层(110)具有凸面(116)；及第二电极(120)，其形成于所述凸面(116)上。实例集成电路IC封装(100)包含BAW谐振器(102)，其安置于所述IC封装(100)中，所述BAW谐振器(102)包含具有凸面(116)的压电层(110)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 凸面 声波 谐振器 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种体声波BAW谐振器，其包括：第一电极；压电层，其形成于所述第一电极上，所述压电层具有凸面；及第二电极，其形成于所述凸面上。
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