[发明专利]一种制备珠宝首饰用人造CVD金刚石的方法及设备

摘要

本申请公开了一种制备首饰用人造CVD金刚石的设备及方法，所述设备包括：密闭的沉积室，在所述沉积室中竖直设置有热丝组件，在热丝组件两侧分别设置有基体组件，所述基体组件可沿垂直于所述热丝网面的方向往复运动。使用本申请提供的设备可以在制备过程中持续缓慢地移动基片台，从而避免在CVD过程中产生的石墨等杂质落入人造CVD金刚石内部，进而提高人造CVD金刚石的品质，而且，热丝组件的两侧同时设置基片台，从而将制造效率提高1倍，此外，使用本申请提供的设备能够在制备过程中保持人造CVD金刚石前端面的温度恒定，从而增加人造CVD金刚石的厚度，进而获得大尺寸的人造CVD金刚石。

主权项

1.一种制备首饰用人造金刚石的设备，其特征在于，所述设备包括：密闭的沉积室(1)，在所述沉积室(1)中竖直设置有热丝组件(2)，在热丝组件(2)两侧分别设置有基体组件(3)，/n所述热丝组件(2)包括固定电极板(21)、滑动电极板(22)、盘绕于固定电极板(21)与滑动电极板(22)之间的热丝(23)以及两个电极组，所述电极组包括正电极组和负电极组，正电极组与固定电极板(21)/滑动电极板(22)连通，负电极组与滑动电极板(22)/固定电极板(21)连通，所述热丝(23)盘绕成热丝网面，所述热丝网面可沿热丝拉伸方向做微小往复运动；/n所述基体组件(3)包括传动杆(31)，所述传动杆(31)的一端设置有基片台(32)，在另一端设置有连接台(33)，所述基片台(32)设置于所述沉积室(1)内部，所述连接台设置于所述沉积室(1)外部，在所述基片台(32)前端面上设置有沉积基体(34)；/n所述沉积基体(34)与所述热丝网面相对设置；/n所述基体组件(3)可沿垂直于所述热丝网面的方向往复运动。/n