[发明专利]一种集成流量反馈装置和压力传感器的静压导轨块

摘要

本发明公开了一种集成流量反馈装置和压力传感器的静压导轨块，包括二腔滑块体、压力传感器和薄膜流量反馈装置，所述二腔滑块体包括滑块本体，且滑块本体上设置有螺接固定孔，所述滑块本体的左侧设置有抬升腔，且滑块本体的右侧设置有保压腔。该装置能够利用压力传感器检测出压力变化趋势知道重新调整二腔滑块体与托板的安装位置，从而确保了安装的精度，并且该装置还集成了薄膜流量反馈装置，实现了对上油腔和下油腔内流量的自动调整。从而保障了安装完整的静压导轨在各处均具有相同的油膜刚度和特性，而且由于利用弹性薄膜片构成的节流器的位置与抬升腔和保压腔的位置很近，也能够有效的缩短油路，保障动态刚度。

主权项

1.一种集成流量反馈装置和压力传感器的静压导轨块，其特征在于：包括二腔滑块体(1)、压力传感器(2)和薄膜流量反馈装置(3)，所述二腔滑块体(1)包括滑块本体(101)，且滑块本体(101)上设置有螺接固定孔(102)，所述滑块本体(101)的左侧设置有抬升腔(103)，且滑块本体(101)的右侧设置有保压腔(111)，所述抬升腔(103)上开设有抬升腔油孔(104)，且滑块本体(101)的前端设置有与抬升腔油孔(104)连通的下盖体配合油孔(105)，所述保压腔(111)内开设有保压腔油孔(110)，且滑块本体(101)的前端设置有与保压腔油孔(110)连通的上盖体配合油孔(106)，所述滑块本体(101)的右侧开设有进油孔(109)，且滑块本体(101)的前端开设有与进油孔(109)连通的注油道(107)，所述滑块本体(101)的前端开设有与抬升腔(103)连通的压力传感器配合油孔(108)，且压力传感器配合油孔(108)与压力传感器(2)的进油端连通；所述薄膜流量反馈装置(3)包括由后至前依次贴合安装的下盖体(301)、下铜片(302)、弹性薄膜片(303)、上铜片(304)和上盖体(305)，且上盖体(305)和下盖体(301)共同采用固定螺钉(306)固定在二腔滑块体(1)的前端，所述下盖体(301)包括下盖体本体(3011)，且下盖体本体(3011)前端开设有下油腔(3014)，所述下盖体本体(3011)上设置有连通下油腔(3014)的下盖体返油通道(3013)，且下盖体返油通道(3013)与下盖体配合油孔(105)相连通，所述下盖体本体(3011)上设置有连通下油腔(3014)的注油道下盖体配合孔(3015)，且注油道下盖体配合孔(3015)与注油道(107)连通，所述上盖体(305)包括上盖体本体(3051)，且上盖体本体(3051)的后端开设有上油腔(3053)，所述上油腔(3053)与下油腔(3014)之间采用弹性薄膜片(303)完全隔离，且上盖体本体(3051)上设置有连通上油腔(3053)和注油道下盖体配合孔(3015)的注油道上盖体配合孔(3052)，所述上盖体本体(3051)上设置有连通上油腔(3053)的上盖体返油通道(3054)，且下盖体(301)上设置有连接上盖体返油通道(3054)和上盖体配合油孔(106)的上盖体返油通道配合孔(3012)。