[发明专利]一种集成流量反馈装置和压力传感器的静压导轨块

权利要求书

1.一种集成流量反馈装置和压力传感器的静压导轨块，其特征在于：包括二腔滑块体(1)、压力传感器(2)和薄膜流量反馈装置(3)，所述二腔滑块体(1)包括滑块本体(101)，且滑块本体(101)上设置有螺接固定孔(102)，所述滑块本体(101)的左侧设置有抬升腔(103)，且滑块本体(101)的右侧设置有保压腔(111)，所述抬升腔(103)上开设有抬升腔油孔(104)，且滑块本体(101)的前端设置有与抬升腔油孔(104)连通的下盖体配合油孔(105)，所述保压腔(111)内开设有保压腔油孔(110)，且滑块本体(101)的前端设置有与保压腔油孔(110)连通的上盖体配合油孔(106)，所述滑块本体(101)的右侧开设有进油孔(109)，且滑块本体(101)的前端开设有与进油孔(109)连通的注油道(107)，所述滑块本体(101)的前端开设有与抬升腔(103)连通的压力传感器配合油孔(108)，且压力传感器配合油孔(108)与压力传感器(2)的进油端连通；

所述薄膜流量反馈装置(3)包括由后至前依次贴合安装的下盖体(301)、下铜片(302)、弹性薄膜片(303)、上铜片(304)和上盖体(305)，且上盖体(305)和下盖体(301)共同采用固定螺钉(306)固定在二腔滑块体(1)的前端，所述下盖体(301)包括下盖体本体(3011)，且下盖体本体(3011)前端开设有下油腔(3014)，所述下盖体本体(3011)上设置有连通下油腔(3014)的下盖体返油通道(3013)，且下盖体返油通道(3013)与下盖体配合油孔(105)相连通，所述下盖体本体(3011)上设置有连通下油腔(3014)的注油道下盖体配合孔(3015)，且注油道下盖体配合孔(3015)与注油道(107)连通，所述上盖体(305)包括上盖体本体(3051)，且上盖体本体(3051)的后端开设有上油腔(3053)，所述上油腔(3053)与下油腔(3014)之间采用弹性薄膜片(303)完全隔离，且上盖体本体(3051)上设置有连通上油腔(3053)和注油道下盖体配合孔(3015)的注油道上盖体配合孔(3052)，所述上盖体本体(3051)上设置有连通上油腔(3053)的上盖体返油通道(3054)，且下盖体(301)上设置有连接上盖体返油通道(3054)和上盖体配合油孔(106)的上盖体返油通道配合孔(3012)。

2.根据权利要求1所述的一种集成流量反馈装置和压力传感器的静压导轨块，其特征在于：所述滑块本体(101)上至少设置有上下两排至少六队螺接固定孔，且螺接固定孔上通过螺栓与外部托板连接。

3.根据权利要求1所述的一种集成流量反馈装置和压力传感器的静压导轨块，其特征在于：所述进油孔(109)的外侧采用O形圈与外部托板密封。

4.根据权利要求1所述的一种集成流量反馈装置和压力传感器的静压导轨块，其特征在于：所述上盖体本体(3051)上开设有连通上油腔(3053)与外界的外接油道，且下盖体本体(3011)上开设有连通下油腔(3014)与外界的外接油道，所述外接油道均采用油封塞体密封。