[发明专利]一种图形化外延结构激光剥离装置

摘要

本发明涉及一种图形化外延结构激光剥离装置，它包括基片、整型结构、透射率调整结构、图形化外延结构、气体传输系统、紫外光源、剥离室以及进光窗口，剥离室两侧分别设计有气体传输系统，剥离室上面设计有进光窗口，紫外光源设计在进光窗口外侧上方，图形化外延结构设计在剥离室内，图形化外延结构上设计有一层基片，图形化外延结构包括外延结构、蓝宝石衬底、图形化结构、斜界面、平界面，外延结构上面均匀设计有若干个图形化结构，图形化结构是由两个斜界面形成的V型槽状结构，相邻两个图形化结构之间通过平界面相连。优点是设计巧妙，操作方便，实现图形化衬底剥离，提高剥离良率。

主权项

1.一种图形化外延结构激光剥离装置，其特征在于，它包括基片（1）、整型结构（2）、透射率调整结构（3）、图形化外延结构（4）、气体传输系统（5）、紫外光源（6）、剥离室（7）以及进光窗口（8），剥离室两侧分别设计有气体传输系统，剥离室上面设计有进光窗口，紫外光源设计在进光窗口外侧上方，图形化外延结构设计在剥离室内，图形化外延结构上设计有一层基片，图形化外延结构包括外延结构（40）、蓝宝石衬底（41）、图形化结构（42）、斜界面（43）、平界面（44），外延结构上面均匀设计有若干个图形化结构，图形化结构是由两个斜界面形成的V型槽状结构，相邻两个图形化结构之间通过平界面相连，外延结构上面设计有蓝宝石衬底且蓝宝石衬底位于图形化结构、斜界面、平界面上方，基片位于蓝宝石衬底上面，基片上面设计有若干个整型机构，整型机构与图形化结构一一对应设计，相邻的整型机构之间设计有透射率调整结构且透射率调整结构位于基片上面，进光窗口位于整型机构和透射率调整结构上方。