[发明专利]单片式多色光电探测器

摘要

本发明提出了一种单片式多色光电探测器，其包括衬底；在衬底上从下至上依次形成的第一吸收层结构、第二吸收层结构、……、第i吸收层结构、……、第N吸收层结构，N为大于1的正整数，i为大于1且小于等于N的正整数；每一个吸收层结构具有一个下接触层、一个吸收层和一个上接触层，相邻两个吸收层结构的接触层共用；沿光入射方向，N个吸收层的吸收波长逐渐变长。本发明采用多色探测器结构设计，能够实现短波红外或可见短波光谱范围内的多色同步探测或选择性带通探测。

主权项

1.一种单片式多色光电探测器，其特征在于，包括：衬底；在所述衬底上从下至上依次形成的第一吸收层结构、第二吸收层结构、……、第i吸收层结构、……、第N吸收层结构，所述N为大于1的正整数，所述i为大于1且小于等于N的正整数；每一个吸收层结构具有一个下接触层、一个吸收层和一个上接触层，相邻两个吸收层结构的接触层共用；沿光线入射方向，N个吸收层的吸收波长逐渐变长。