[发明专利]真空装置、蒸镀装置及闸阀在审
| 申请号： | 201810616374.4 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN109666888A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 菅原洋纪;大仓敏和;青沼大介 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够有效地抑制闸阀结露的真空装置。使用一种真空装置，该真空装置具有：内部空间为减压气氛的腔室；及将腔室的内部空间与外部空间分隔的闸阀，真空装置的特征在于，腔室包括具有开口的第一腔室壁，闸阀以覆盖开口的方式设置，沿着与第一腔室壁交叉的方向开闭，闸阀的第一面与温度比闸阀高的第一构件相向，闸阀的第二面与温度比闸阀低的第二构件相向，第一面的辐射率高于第二面的辐射率。 | ||
| 搜索关键词： | 闸阀 真空装置 腔室 第一腔室 辐射率 相向 开口 第二构件 方式设置 减压气氛 外部空间 蒸镀装置 第二面 有效地 分隔 结露 开闭 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种真空装置，具有：内部空间为减压气氛的腔室；及将所述腔室的所述内部空间与外部空间分隔的闸阀，所述真空装置的特征在于，所述腔室包括具有开口的第一腔室壁，所述闸阀以覆盖所述开口的方式设置，沿着与所述第一腔室壁交叉的方向开闭，所述闸阀的第一面与温度比所述闸阀高的第一构件相向，所述闸阀的第二面与温度比所述闸阀低的第二构件相向，所述第一面的辐射率高于所述第二面的辐射率。
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