[发明专利]一种多晶硅锭的制备工艺及其多晶硅锭在审
| 申请号： | 201810603645.2 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108546989A | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 陈吉亮;安佳;封百富 | 申请（专利权）人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;C30B33/02 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 王宽 |
| 地址： | 257300 山东省东营市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种多晶硅锭的制备工艺及其多晶硅锭，涉及太阳能电池铸锭技术领域，所述工艺包括装料、加热熔化、结晶、退火和冷却，特征在于，在加热熔化后期逐渐升高隔热笼至第一高度，打开抽板。控制隔热笼的上升速度，将隔热笼从第一高度逐渐调整到第二高度后停止上升，控制抽板配合隔热笼的高度逐渐打开至设定开度后停止。控制退火时间在130‑140分钟。本申请还提供了采用该工艺制备的多晶硅锭。本申请提供的制备工艺，在缩短铸锭周期、提高产率、减少能耗的同时，制备出的多晶硅锭表面无冻硅，开方后无整锭裂伤，检测结果显示红区长度降低，铸锭良率提高。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅锭 隔热笼 制备工艺 退火 加热熔化 抽板 铸锭 申请 太阳能电池 工艺制备 检测结果 铸锭技术 装料 开方 产率 开度 良率 裂伤 制备 冷却 能耗 升高 配合 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅锭的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：1)装料：将硅料装填入坩埚，转移坩埚至铸锭炉；2)加热熔化：将铸锭炉抽至真空，加热至硅料熔化，在熔化阶段后期逐渐升高隔热笼至第一高度，打开抽板；3)结晶：控制隔热笼的上升速度，将隔热笼从第一高度逐渐调整到第二高度后停止上升，控制抽板配合隔热笼的高度逐渐打开至设定开度后停止；4)退火：对结晶结束的铸锭进行退火；5)冷却：退火结束后冷却制得多晶硅锭；所述结晶过程的温度为1405‑1435℃，结晶时长为35‑45h；所述退火过程的时长为130‑140min。
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