[发明专利]缺陷检测方法以及缺陷检测装置有效
| 申请号： | 201810601368.1 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN109030624B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 畠堀贵秀;长田侑也;田窪健二 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N29/04 | 分类号： | G01N29/04;G01N29/48;G01N29/44 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国京都府京*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供能够容易地测量缺陷的深度的缺陷检测方法，其包括：位移统括测定工序，一边在被检查物体的整个检查区域内激发第1弹性波，一边对该检查区域内的该被检查物体的整个表面进行频闪照明，并控制弹性波的相位和频闪照明的时刻，由此，在该弹性波的互不相同的至少3个相位下统括测定检查区域的各点的前后方向的位移；缺陷位置确定工序，根据该至少3个相位下的检查区域的各点的前后方向的位移来确定缺陷在该检查区域的表面上的位置即表面位置；和深度方向信息获取工序，从抵接在包含用缺陷位置确定工序确定的表面位置的所述表面的限定区域内的探头朝表面位置的内部投射第2弹性波，根据其响应波来求该缺陷的深度方向的位置及/或大小。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括：a)位移统括测定工序，一边在被检查物体的整个检查区域内激发第1弹性波，一边对该检查区域内的该被检查物体的整个表面进行频闪照明，并控制所述弹性波的相位和所述频闪照明的时刻，由此，在该弹性波的互不相同的至少3个相位下统括测定所述检查区域的各点的前后方向的位移；b)缺陷位置确定工序，根据所述至少3个相位下的所述检查区域的各点的前后方向的位移，来确定缺陷在该检查区域的表面上的位置即表面位置；以及c)深度方向信息获取工序，从抵接在所述表面的限定区域内的探头朝所述表面位置的内部投射第2弹性波，并根据其响应波来求该缺陷的深度方向的位置及/或大小，该表面是包含通过所述缺陷位置确定工序确定到的表面位置的表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所，未经株式会社岛津制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810601368.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
