[发明专利]半导体器件和图像传感器

摘要

本公开提供了半导体器件和图像传感器。一种半导体器件包括在半导体基板上的第一图案、第二图案和第二采样图案。第二图案与第二采样图案以相等的间隔水平地间隔开。第二采样图案包括彼此面对的第一侧壁和第二侧壁、在第一侧壁上的第一点和在第二侧壁上的第二点。第二采样图案和与第二采样图案相关的最相邻第一图案在与连接第一点和第二点的直线平行的方向上以第一水平距离彼此间隔开。第一水平距离大于第二图案中的一个第二图案和与所述一个第二图案相关的最相邻第一图案之间在所述方向上的第二水平距离。

主权项

1.一种半导体器件，包括：多个第一图案，在半导体基板上；和多个第二图案和至少一个第二采样图案，在所述半导体基板上，其中所述第二图案和所述至少一个第二采样图案具有共同的形状和宽度，所述第二图案与所述至少一个第二采样图案以相等的间隔水平地间隔开，其中所述第二采样图案包括第一侧壁、面对所述第一侧壁的第二侧壁、在所述第一侧壁上的第一点和在所述第二侧壁上的第二点，并且其中所述第二采样图案和所述多个第一图案中的与所述第二采样图案相关的相邻第一图案在与连接所述第一点和所述第二点的直线平行的方向上以第一水平距离彼此间隔开，所述第一水平距离大于所述多个第二图案中的一个第二图案和所述多个第一图案中的与所述一个第二图案相关的相邻第一图案之间在所述方向上的第二水平距离。