[发明专利]多测试类型探针卡和对应的测试系统

摘要

本申请涉及多测试类型探针卡和对应的测试系统。用于在晶圆分类工艺期间测试衬底的裸片的探针卡包括印刷电路板(PCB)和测试位置，所述测试位置被布置为在测试周期期间分别连接到所述裸片中的一个裸片。测试位置包括第一引脚连接带和第一引脚组。第一引脚连接带连接到PCB。第一引脚组连接到第一引脚连接带并且包括用于测试设备在第一裸片上执行第一类型测试的引脚配置。测试位置仅包括第一引脚组中的引脚。第一引脚组中的引脚的数目少于用于在第一裸片上执行第二类型测试的引脚的数目。以比第一类型测试更慢的处理速度执行第二类型测试。

主权项

1.一种探针卡，用于在晶圆分类工艺期间测试衬底的多个裸片，所述探针卡包括：印刷电路板；和第一测试位置，所述第一测试位置被布置成在测试周期期间分别连接到所述多个裸片中的选定裸片，其中所述第一测试位置包括：第一引脚连接带，连接到所述印刷电路板，和第一引脚组，连接到所述第一测试位置的所述第一引脚连接带，其中所述第一引脚组包括用于测试设备在第一裸片上执行第一类型测试的引脚配置，其中所述第一测试位置包括所述第一引脚组中的引脚并且不包括其他引脚，其中所述第一引脚组中的引脚的数目少于用于在所述第一裸片上执行第二类型测试的引脚的数目，并且其中以比所述第一类型测试更慢的处理速度执行所述第二类型测试。