[发明专利]一种半导体生产用等离子刻蚀机有效

专利信息
申请号: 201810569471.2 申请日: 2018-06-05
公开(公告)号: CN108597979B 公开(公告)日: 2019-11-05
发明(设计)人: 梁亚 申请(专利权)人: 江苏锡沂高新区科技发展有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32
代理公司: 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 代理人: 王程远
地址: 221000 江苏省徐州市新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种半导体生产用等离子刻蚀机,包括等离子刻蚀机本体、第一弹性元件和第二弹性元件,所述等离子刻蚀机本体的底部设置有第一固定块,且第一固定块的内部安装有第一销轴,所述第一弹性元件的一端固定于等离子刻蚀机本体的底面,且第一弹性元件的另一端连接有第二固定块,所述第二固定块的内部设置有第二销轴,所述第二固定块的边侧设置有挡板,所述第二弹性元件的一端固定于支撑杆的内侧,所述支撑杆的外壁连接有钢丝,所述等离子刻蚀机本体底部的中心处设置有第三固定块。该半导体生产用等离子刻蚀机,具有减震的效果,从而保证了运输过程中,该装置内部设备的安全,且具有防止该装置发生相对运动的功能。
搜索关键词: 等离子刻蚀机 固定块 弹性元件 半导体生产 支撑杆 销轴 减震 内部安装 内部设备 内部设置 一端连接 运输过程 挡板 中心处 底面 外壁 钢丝 安全 保证
【主权项】:
1.一种半导体生产用等离子刻蚀机,包括等离子刻蚀机本体(1)、第一弹性元件(5)和第二弹性元件(12),其特征在于:所述等离子刻蚀机本体(1)的底部设置有第一固定块(2),且第一固定块(2)的内部安装有第一销轴(3),并且第一销轴(3)的中部设置有第一滑轮(4),所述第一弹性元件(5)的一端固定于等离子刻蚀机本体(1)的底面,且第一弹性元件(5)的另一端连接有第二固定块(6),所述第二固定块(6)的内部设置有第二销轴(7),且第二销轴(7)的中部安装有第二滑轮(8),所述第二固定块(6)的边侧设置有挡板(9),且挡板(9)的内部安装有第三销轴(11),并且第三销轴(11)的中部设置有支撑杆(10),所述第二弹性元件(12)的一端固定于支撑杆(10)的内侧,且第二弹性元件(12)的另一端设置于第二固定块(6)的外侧,所述支撑杆(10)的外壁连接有钢丝(13),且钢丝(13)设置于第一滑轮(4)上,并且钢丝(13)的一端固定于第一滑轮(4)的边端,所述等离子刻蚀机本体(1)底部的中心处设置有第三固定块(15),且第三固定块(15)的内部安装有转轴(14);所述支撑杆(10)与第二弹性元件(12)为弹性连接,且支撑杆(10)的一端设计为弧形结构;所述转轴(14)与第三固定块(15)为螺纹连接,且第三固定块(15)设置有2个。
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