[发明专利]一种半导体生产用等离子刻蚀机

摘要

本发明公开了一种半导体生产用等离子刻蚀机，包括等离子刻蚀机本体、第一弹性元件和第二弹性元件，所述等离子刻蚀机本体的底部设置有第一固定块，且第一固定块的内部安装有第一销轴，所述第一弹性元件的一端固定于等离子刻蚀机本体的底面，且第一弹性元件的另一端连接有第二固定块，所述第二固定块的内部设置有第二销轴，所述第二固定块的边侧设置有挡板，所述第二弹性元件的一端固定于支撑杆的内侧，所述支撑杆的外壁连接有钢丝，所述等离子刻蚀机本体底部的中心处设置有第三固定块。该半导体生产用等离子刻蚀机，具有减震的效果，从而保证了运输过程中，该装置内部设备的安全，且具有防止该装置发生相对运动的功能。

主权项

1.一种半导体生产用等离子刻蚀机，包括等离子刻蚀机本体（1）、第一弹性元件（5）和第二弹性元件（12），其特征在于：所述等离子刻蚀机本体（1）的底部设置有第一固定块（2），且第一固定块（2）的内部安装有第一销轴（3），并且第一销轴（3）的中部设置有第一滑轮（4），所述第一弹性元件（5）的一端固定于等离子刻蚀机本体（1）的底面，且第一弹性元件（5）的另一端连接有第二固定块（6），所述第二固定块（6）的内部设置有第二销轴（7），且第二销轴（7）的中部安装有第二滑轮（8），所述第二固定块（6）的边侧设置有挡板（9），且挡板（9）的内部安装有第三销轴（11），并且第三销轴（11）的中部设置有支撑杆（10），所述第二弹性元件（12）的一端固定于支撑杆（10）的内侧，且第二弹性元件（12）的另一端设置于第二固定块（6）的外侧，所述支撑杆（10）的外壁连接有钢丝（13），且钢丝（13）设置于第一滑轮（4）上，并且钢丝（13）的一端固定于第一滑轮（4）的边端，所述等离子刻蚀机本体（1）底部的中心处设置有第三固定块（15），且第三固定块（15）的内部安装有转轴（14）；所述支撑杆（10）与第二弹性元件（12）为弹性连接，且支撑杆（10）的一端设计为弧形结构；所述转轴（14）与第三固定块（15）为螺纹连接，且第三固定块（15）设置有2个。