[发明专利]线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置在审
| 申请号： | 201810551056.4 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108754448A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 王卫卫;李俊峰;何麟 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置，包括：承载平台，用于承载蒸发蒸镀材料的加热装置；加热装置的喷嘴安装面上设有线性喷嘴组，线性喷嘴组包括沿沿喷嘴的方向设于喷嘴安装面的多个喷嘴；线性喷嘴组配套设有喷嘴控制系统，用于调节线性喷嘴组内多个喷嘴的蒸镀方向；喷嘴控制系统包括多个设于承载平台的喷嘴控制单元。当使用该线性蒸发源将蒸镀材料蒸镀到目标基板时，制得的蒸镀膜的膜厚在线源方向上的膜厚均一性比较好；当蒸镀材料为有机电致发光材料时，可以利用本申请实施例提供的线性蒸发源蒸镀有机电致发光材料，提高有机电致发光材料在目标基板上形成的发光层在线源方向上的膜厚均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 线性蒸发源 线性喷嘴 有机电致发光材料 喷嘴控制 蒸镀材料 喷嘴 蒸镀 膜厚均一性 承载平台 加热装置 目标基板 喷嘴安装 蒸镀装置 蒸发源 发光层 蒸镀膜 膜厚 申请 蒸发 承载 配套 | ||
【主权项】：
1.一种线性蒸发源(10)，其特征在于，包括：承载平台(100)；加热装置(200)，设置于所述承载平台(100)，所述加热装置(200)具有一个喷嘴安装面(210)；线性喷嘴组(300)，安装于所述喷嘴安装面(210)，所述线性喷嘴组(300)包括多个间隔设置的喷嘴(310)；喷嘴控制系统(400)，与所述线性喷嘴组(300)电连接，用于调节所述多个喷嘴(310)的蒸镀方向。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810551056.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
