[发明专利]一种大功率敏感陶瓷电极的制备方法在审
| 申请号： | 201810536922.2 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN108777200A | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 王德苗;金浩;冯斌;顾骏;顾为民 | 申请（专利权）人： | 苏州求是真空电子有限公司 |
| 主分类号： | H01C17/28 | 分类号： | H01C17/28;H01C7/02;H01C7/04;H01C7/112;C23C14/18;C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 朱海琳;董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种大功率敏感陶瓷电极的制备方法，包括以下步骤：将敏感陶瓷基片进行清洗、甩干以及烘烤除气后，依次采用溅射工艺镀覆一层过渡层，在该过渡层上采用溅射工艺镀覆一层防过渡层氧化的保护层，然后再丝印一层较厚的银浆或铜浆进行烧结。与传统的丝印电极工艺和纯溅射电极工艺相比，本发明具有膜层结合力强、耐压高、电极承受功率大、生产成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感陶瓷 电极 过渡层 镀覆 溅射 丝印 制备 膜层结合力 承受功率 电极工艺 溅射电极 烧结 保护层 传统的 烘烤 除气 耐压 甩干 铜浆 银浆 生产成本 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种大功率敏感陶瓷电极的制备方法，其特征是，包括以下步骤：（1）将敏感陶瓷基片进行清洗、甩干以及烘烤除气；（2）将敏感陶瓷基片装入掩膜夹具，置于溅射仪中，当真空度达到10‑3Pa量级后，动态充以3*10‑1Pa‑8*10‑1Pa的氩气，溅射镀覆厚度为800A‑5000A的金属过渡膜层；（3）在同一真空周期内，保持氩气压不变，在上述过渡膜层上溅射镀覆厚度0.15μm‑2μm的防氧化保护膜层；（4）取出敏感陶瓷基片后，采用丝网印刷工艺在保护膜层上印刷厚度为6μm‑20μm的银浆、铜浆或铜银合金浆料中的任一种；（5）在680℃‑860℃的隧道窑炉中，对于丝印银浆的工件在大气条件下烧结半小时及以上；对于丝印铜浆或银铜合金浆的工件在氮气保护气氛下烧结半小时及以上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州求是真空电子有限公司，未经苏州求是真空电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810536922.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
