[发明专利]半导体器件在审

专利信息
申请号: 201810534936.0 申请日: 2018-05-29
公开(公告)号: CN109087919A 公开(公告)日: 2018-12-25
发明(设计)人: 具利恩;郑在皓;梁宇成;李呈焕;卢仁洙;李璿婴 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/11582 分类号: H01L27/11582;H01L27/11568
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 范心田
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 公开了一种半导体器件。该半导体器件可以包括:半导体衬底,具有存储器单元区域和与存储器单元区域相邻的焊盘区域,所述焊盘区域可以包括第一焊盘区域、在存储器单元区域和第一焊盘区域之间的第二焊盘区域、以及第一焊盘区域和第二焊盘区域之间的缓冲区域。分离源极结构可以包括在半导体器件的平面图中彼此平行的第一部分和第二部分。第一源极结构和第二源极结构可以设置在分离源极结构的第一部分和第二部分之间。栅极组可以设置在分离源极结构的第一部分和第二部分之间存储器单元区域和焊盘区域中,其中第一源极结构和第二源极结构的每个端部具有平面形状,且每个端部的宽度随着每个端部朝向另一端部的延伸而增大然后减小。
搜索关键词: 焊盘区域 存储器单元区域 半导体器件 源极结构 分离源 彼此平行 缓冲区域 平面形状 衬底 减小 半导体 延伸
【主权项】:
1.一种半导体器件,包括:半导体衬底,具有存储器单元区域和与存储器单元区域相邻的焊盘区域,所述焊盘区域包括第一焊盘区域、在存储器单元区域和第一焊盘区域之间的第二焊盘区域以及在第一焊盘区域和第二焊盘区域之间的缓冲区域;分离源极结构,包括在半导体器件的平面图中彼此平行的第一部分和第二部分;第一源极结构和第二源极结构,设置在分离源极结构的第一部分和第二部分之间,第一源极结构和第二源极结构具有彼此相对的端部,第一源极结构设置在第一焊盘区域中,且第二源极结构设置在第二焊盘区域中;以及栅极组,设置在分离源极结构的第一部分和第二部分之间存储器单元区域和焊盘区域中,其中所述第一源极结构和所述第二源极结构的每个端部具有平面形状,并且所述每个端部的宽度随着每个端部朝向另一端部延伸而增大然后减小。
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