[发明专利]一种制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法有效
| 申请号： | 201810509968.5 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108395092B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 李应;陈海斌;陈剑;李庆国;兰兴玲;陈强;李秀鹏 | 申请（专利权）人： | 成都富通光通信技术有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/014 | 分类号： | C03B37/014 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王学强;罗满 |
| 地址： | 610097 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法，若干个喷灯沿着靶棒的轴向按均匀间距排列，所有喷灯的喷射方向与靶棒的轴向保持相同的倾角；靶棒上通过喷灯沉积的松散体外径增加达到设定值后，靶棒在牵引机构的带动下沿靶棒轴向单向移动一段距离后停止，重复上述过程直至靶棒的沉积区形成连续均匀外径的松散体。本发明所述的制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法中靶棒只沿单向移动，一次性的在靶棒表面沉积出所需的松散体厚度，有效缩短沉积时间，原料的利用率高，无需往复移动靶棒或喷灯，有效提高沉积效率，可大大缩短沉积时间，一次成型出外径均匀的松散体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 光纤 预制 喷灯 沉积 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法，其特征在于，若干个喷灯沿着靶棒(a)的轴向按均匀间距排列，喷灯数量为N，N≥2，L为靶棒(a)的沉积区长度，相邻喷灯的间距为L/N，所有喷灯的喷射方向与靶棒(a)的轴向保持相同的倾角；喷灯内通入SiCl4、H2、O2进行水解反应生成SiO2颗粒喷附到旋转的靶棒(a)上，靶棒(a)上沉积的松散体外径增加达到设定值时，靶棒(a)在牵引机构的带动下沿靶棒(a)轴向单向移动一段距离后停止，靶棒(a)沿其轴向移动的方向为朝喷灯喷口偏向的一端移动，由此完成一个沉积过程单元，重复上述沉积过程单元直至靶棒(a)的沉积区形成连续均匀外径的松散体。
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