[发明专利]一种制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法

权利要求书

1.一种制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法，其特征在于，若干个喷灯沿着靶棒（a）的轴向按均匀间距排列，喷灯数量为N，N≥2，L为靶棒（a）的沉积区长度，相邻喷灯的间距为L/N，所有喷灯的喷射方向与靶棒（a）的轴向保持相同的倾角；

喷灯内通入SiCl₄、H₂、O₂进行水解反应生成SiO₂颗粒喷附到旋转的靶棒（a）上，靶棒（a）上沉积的松散体外径增加达到设定值时，靶棒（a）在牵引机构的带动下沿靶棒（a）轴向单向移动一段距离后停止，靶棒（a）沿其轴向移动的方向为朝喷灯喷口偏向的一端移动，由此完成一个沉积过程单元，重复上述沉积过程单元直至靶棒（a）的沉积区形成连续均匀外径的松散体；

在靶棒（a）侧边距离靶棒（a）轴心R处设置用于检测外径的激光束装置（d），R为在靶棒（a）表面的松散体所需达到的外径设定值；靶棒（a）上沉积的松散体外径增加至阻挡激光束装置（d）时，靶棒（a）在牵引机构的带动下沿靶棒（a）轴向并朝喷灯倾斜方向一侧进行单向移动至激光束装置（d）露出时停止，重复上述过程直至靶棒（a）沉积区形成连续均匀外径的松散体。

2.根据权利要求1所述的制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法，其特征在于，所述的喷灯内通入的SiCl₄、H₂、O₂流量在沉积过程的起始阶段逐步增加，同时靶棒（a）在牵引机构的带动下沿靶棒（a）轴向并朝喷灯喷口偏向的一端移动，此过程在靶棒（a）上形成松散体的起头斜面过度区（c），然后再重复进行沉积过程单元直至靶棒（a）的沉积区形成连续均匀外径松散体。

3.根据权利要求2所述的制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法，其特征在于，在完成起头斜面过度区（c）后，以喷灯内通入的SiCl₄、H₂、O₂流量维持恒定值的状态重复进行沉积过程单元。

4.根据权利要求3所述的制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法，其特征在于，在靶棒（a）移动至前一个喷灯接触到后一个喷灯形成的起头斜面过度区（c）时，最末端的喷灯关闭气体供应。

5.根据权利要求4所述的制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法，其特征在于，在靶棒（a）移动至前一个喷灯接触到后一个喷灯形成的起头斜面过度区（c）时，继续维持喷灯内通入的SiCl₄、H₂、O₂流量不变并重复进行沉积过程单元直到后一个喷灯形成的起头斜面过度区（c）的最前端处松散体外径达到设定值为止。

6.根据权利要求5所述的制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法，其特征在于，在后一个喷灯形成的起头斜面过度区（c）的最前端处松散体外径达到设定值后，逐步降低喷灯内通入的SiCl₄、H₂、O₂流量并重复进行沉积过程单元直至靶棒（a）的沉积区形成连续均匀外径松散体。

7.根据权利要求1所述的制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法，其特征在于，所述的激光束装置（d）仅设置有一个。

8.根据权利要求1所述的制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法，其特征在于，所述激光束装置（d）包括激光发射端（d1）和用于接收激光发射端（d1）发出的激光束的激光接收端（d2）。

9.根据权利要求1所述的制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法，其特征在于，所述喷灯的喷射方向与靶棒（a）的轴向呈25~40°。