[发明专利]一种CCD器件量子效率校准装置及方法在审
| 申请号： | 201810498190.2 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN108896277A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 刘红元;王洪超;王恒飞;应承平;吴斌;李国超;史学舜;杨延召 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 青岛智地领创专利代理有限公司 37252 | 代理人： | 朱玉建 |
| 地址： | 266555 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CCD器件量子效率校准装置及方法。其中，校准装置包括积分球、多组滤光片轮、探测器、被测CCD器件、光纤光谱仪、精密位移台、快门以及控制系统。积分球，被配置为用于提供积分球光源；多组滤光片轮，在光路方向上并列布置，被配置为用于对积分球光源进行滤光处理；每组滤光片轮上安装多个滤光片，其中一个为通光状态，其余均为窄带滤光片；各个窄带滤光片所允许通过的光的波长各不相同；每组滤光片轮分别配置有一组用于控制所述滤光片轮转动的驱动机构。本发明可以提供单色、大面积、高均匀性源，可以校准CCD器件量子效率，为CCD器件使用者和生产者提供高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 滤光片轮 量子效率 校准装置 积分球光源 窄带滤光片 积分球 配置 高精度测量 光纤光谱仪 精密位移台 并列布置 高均匀性 控制系统 驱动机构 通光状态 滤光片 校准 波长 探测器 光路 滤光 快门 转动 | ||
【主权项】：
1.一种CCD器件量子效率校准装置，其特征在于，包括积分球、多组滤光片轮、探测器、被测CCD器件、光纤光谱仪、精密位移台、快门以及控制系统；其中：积分球，被配置为用于提供积分球光源；多组滤光片轮，在光路方向上并列布置，被配置为用于对积分球光源进行滤光处理；每组滤光片轮上安装多个滤光片，其中一个为通光状态，其余均为窄带滤光片；各个窄带滤光片所允许通过的光的波长各不相同；每组滤光片轮分别配置有一组用于控制所述滤光片轮转动的驱动机构；探测器，被配置为用于获取积分球光源通过窄带滤光片滤光后的辐射功率；被测CCD器件，被配置为用于将积分球光源通过窄带滤光片后的光转化为电信号；光纤光谱仪，被配置为用于获取积分球光源通过窄带滤光片后的实际波长；精密位移台，被配置为用于调整被测CCD器件光敏面角度以及与积分球出光口的间距；快门处于积分球的出光口位置，被配置为用于打开和关闭出光口；驱动机构、探测器、被测CCD器件、光纤光谱仪和精密位移台分别与控制系统相连。
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