[发明专利]一种压电传感器的基片在审
| 申请号： | 201810472477.8 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN108680300A | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 叶红军;邢卓;范小娇;马亚红;赵博雅;展玮璇;周园静 | 申请（专利权）人： | 西京学院 |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08;G01L1/16;C04B35/057 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 夏艳 |
| 地址： | 710100 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电传感器的基片，该压电传感器的基片包括基片本体，所述基片本体的顶部表面和底部表面都均匀设置有凹孔，每相邻两组所述凹孔之间设置有弧形孔，该压电传感器的基片包括如下组成成分：氧化铝：2‑3份；二氧化硅：2‑3份；碳酸钙：3‑4份和稀土元素0.5‑1份。本发明提出的压电传感器的基片，具有优良的抗干扰性能，且便于涂胶，方便压电晶片的粘接，介电常数小，电绝缘性能好，热膨胀系数与集成电路中的元件相差小，体积密度小，大大降低了压电传感器的质量，便于生产，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 压电传感器 基片本体 凹孔 抗干扰性能 热膨胀系数 碳酸钙 底部表面 顶部表面 二氧化硅 介电常数 均匀设置 稀土元素 压电晶片 电绝缘 弧形孔 氧化铝 两组 涂胶 粘接 集成电路 生产 | ||
【主权项】：
1.一种压电传感器的基片，其特征在于：该压电传感器的基片包括基片本体(1)，所述基片本体(1)的顶部表面和底部表面均均匀设置有凹孔(2)，每相邻两组所述凹孔(2)之间设置有弧形孔(3)。
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