[发明专利]降低阳极钽芯氧含量的方法及其设备有效
| 申请号： | 201810461400.0 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN108607987B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 马远;廖朝俊;秦钟桦;廖均 | 申请（专利权）人： | 江苏振华新云电子有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/02 | 分类号： | B22F3/02;B22F3/24 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王宏 |
| 地址： | 225000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种降低阳极钽芯氧含量的方法及其设备，涉及电子元器件制造技术领域。降低阳极钽芯氧含量的方法，包括如下步骤：(a)将带有碱性金属蒸汽的惰性气体等离子化，形成含碱性金属的惰性气体等离子体；(b)将钽芯置于含碱性金属的惰性气体等离子体中；(c)隔离碱性金属蒸汽源，通入惰性气体，使钽芯置于惰性气体等离子体中。本发明的方法加速了氧原子与碱性金属离子的反应速度，减少了去氧工艺处理的时间；所需要的环境温度和压力较低，提高了生产过程的可控性和安全性；有效地降低钽芯内部的氧浓度，提高最终钽电容的耐压等性能。 | ||
| 搜索关键词： | 降低 阳极 钽芯氧 含量 方法 及其 设备 | ||
【主权项】：
1.一种降低阳极钽芯氧含量的方法，其特征在于，包括如下步骤：(a)温度在碱性金属的熔点以上、沸点以下，压力为700‑45000Pa的条件下，将带有碱性金属蒸汽的惰性气体等离子化，形成含碱性金属的惰性气体等离子体；(b)将钽芯置于含碱性金属的惰性气体等离子体中，使钽芯内的氧与碱性金属反应生成碱性金属氧化物；(c)隔离碱性金属蒸汽源，通入惰性气体，使钽芯置于惰性气体等离子体中，使生成的碱性金属氧化物随惰性气体排出；任选的，进行步骤(d)：冷却系统，完成降温。
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