[发明专利]基于磁偏转的电推进羽流沉积效应测量装置

摘要

本发明公开了一种基于磁偏转的电推进羽流沉积效应测量装置，包括QCM污染测量传感器，N极磁铁和S极磁铁，QCM安装支架和前挡板支架，以及两侧支板，其中三组平行设置的部件相互连接形成封闭的测量室，QCM污染测量传感器设置在安装支架上，两磁铁分布在测量室上下，所述前挡板中间设置有测量限制孔，该孔大小通过QCM测量有效面积和被测推力器视野连线与前挡板的交点确定，保证测量限制孔通过推力器来流的沉积污染物，带电粒子通过限制孔后，在磁场的作用下向外侧偏转，磁场不会改变粒子的能量，轰击在右侧支板上。本发明可以有效过滤到返流的CEX离子对测试基材的溅射作用，且采用磁偏转不会增加CEX的能量，同时在右侧支板安装石墨防溅射材料，大大减小二次溅射对污染测量的影响。

主权项

1.基于磁偏转的电推进羽流沉积效应测量装置，包括QCM污染测量传感器，平行相对设置的N极磁铁和S极磁铁，平行相对设置的QCM安装支架和前挡板支架，以及平行相对设置的左侧支板和右侧支板，其中三组平行设置的部件相互连接形成封闭的测量室，其中，QCM污染测量传感器设置在安装支架上，N极磁铁和S极磁铁分布在测量室上下，所述前挡板中间设置有测量限制孔，该孔大小通过QCM测量有效面积和被测推力器视野连线与前挡板的交点确定，保证测量限制孔通过推力器来流的沉积污染物，同时阻挡其他方向来的干扰物；所述右侧支板为主要承担带电粒子偏转轰击的侧板，其内表面添加防溅射石墨片，用于承受来流的CEX的轰击，带电粒子通过限制孔后，在磁场的作用下向外侧偏转，磁场不会改变粒子的能量，轰击在右侧支板上。