[发明专利]超声波传感单元及制作方法、超声波传感器及显示装置有效
| 申请号： | 201810445795.5 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN108871389B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 赵磊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/48 | 分类号： | G01D5/48 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种超声波传感单元及制作方法、超声波传感器及显示装置，涉及电子技术领域，能够进行超声波传感；该超声波传感单元包括位于基板上、且相对设置的第一电极和第二电极，以及位于第一电极和第二电极之间的绝缘层，第一电极相对于第二电极靠近基板；该超声波传感单元还包括：沿厚度方向上贯穿基板和第一电极的通孔，以及位于绝缘层中对应第一电极和第二电极位置的腔室；腔室与通孔连通；第二电极与腔室不接触。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 传感 单元 制作方法 超声波传感器 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种超声波传感单元，其特征在于，包括位于基板上、且相对设置的第一电极和第二电极，以及位于所述第一电极和所述第二电极之间的绝缘层；所述第一电极相对于所述第二电极靠近所述基板；所述超声波传感单元还包括：沿厚度方向上贯穿所述基板和所述第一电极的通孔，以及位于所述绝缘层中对应所述第一电极和所述第二电极位置的腔室；所述腔室与所述通孔连通；所述第二电极与所述腔室不接触。
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