[发明专利]微点致动器在审

专利信息
申请号: 201810442711.2 申请日: 2018-05-10
公开(公告)号: CN108878470A 公开(公告)日: 2018-11-23
发明(设计)人: 瓦希德·柯侯斯卡瓦 申请(专利权)人: 意美森公司
主分类号: H01L27/20 分类号: H01L27/20;H01L41/09;B82Y15/00
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人: 林强
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 本文提供了微点致动器。公开了用于微点致动的设备、系统、和方法的示例。在一个示例中,多个微点致动器接合到透明显示器并且每个微点致动器是部分或完全透明的。在各种示例中,微点致动器可以具有在5和10微米之间的横向尺寸。作为示例,微点致动器可以是微点电活性聚合物(EAP)致动器或微点压电陶瓷致动器。
搜索关键词: 微点 致动器 压电陶瓷致动器 电活性聚合物 透明显示器 接合 透明的 致动
【主权项】:
1.一种致动器阵列,包括:多个微点致动器,所述多个微点致动器中的每个微点致动器包括:第一电极;第二电极;以及在所述第一电极和所述第二电极之间的中间层。
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