[发明专利]氧空位可控的大尺寸AZO磁控溅射靶材制备方法

摘要

本发明公开了一种氧空位可控的大尺寸AZO磁控溅射靶材制备方法，包、AZO陶瓷坯体的成型、坯体高温烧结、切割和打磨成规定尺寸等步骤。本发明的优点是：所制的靶材尺寸大、较为致密、成本较低。

主权项

1.氧空位可控的大尺寸AZO磁控溅射靶材制备方法，包括以下步骤：步骤一、AZO陶瓷坯体的成型：(1)分别称量高纯的氧化锌粉体与高纯的氧化铝粉体后混合均匀形成分体混合物，粉体混合物中氧化铝粉体的占比为2—3wt％；(2)向粉体混合物中倒入含有0.1—3wt％分散剂的去离子水中，去离子水的添加量为粉体混合物的20—40wt％，且经过8—24h的球磨形成浆料；(3)将浆料取出置于60—100℃的烘箱中干燥，再经过研磨形成粉体，形成陶瓷烧结起始原料；(4)将陶瓷烧结起始原料置入模具中经过30—150MPa的单轴模压成型、保压时间为30—300s，然后经120—300MPa的冷等静压、保压时间为60—600s，形成相对密度为60—75％的陶瓷坯体；步骤二、坯体高温烧结：将陶瓷坯体放入炉膛腔壁具有4—10个进气口的普通升降式箱式电阻炉中，电炉从室温开始以0.5—10℃/min的升温速率升到第一步设定温度1050—1250℃，保温30—90min，然后以10—100℃/min升温速率升到第二步设定温度1300—1450℃，并保温120—480min，最后以0.5—10℃/min的降温速率降至室温形成半成品；其中，降温到达第一步设定温度后，将封闭有高纯的碳基固体材料的坩埚置于前述普通升降式箱式电阻炉的炉膛的每个进气口处，且从进气口通入压缩空气，空气的流量为5—50sccm，持续该作业直至温度降至1000℃；温度降至1000℃后，将从进气口通入的压缩空气转换成氮气，氮气流量为5—50sccm，持续该作业直至温度降至300℃；步骤三、将步骤二中的半成品经过切割、打磨成规定尺寸，即形成具有氧空位可控的大尺寸AZO磁控溅射靶材。